Chip-on-Wafer-on-Substrate
定義
- 技術類型:2.5D/3D 先進封裝
- 構成:CoW(Chip-on-Wafer) + WoS(Wafer-on-Substrate)
- 基本作法:多顆晶片接合於矽中介板,再連同中介板固定到有機載板
- 主要應用:HPC、AI 加速器、資料中心、5G、車用電子
- 關鍵製程:TSV 貫穿矽孔、微凸塊接合、BGA 焊球
- 領先業者:TSMC,可量產 CoW 段的高密度微加工
技術優勢
- 主攻 < 7 nm 節點,以高密度短距離互連換取更高頻寬與更低功耗
- 高密度互連與高性能
- 提供更高記憶體容量與帶寬
- 適用於 HPC 高性能計算、人工智慧、深度學習與 5G 網路等記憶體密集型工作負載
技術流程
- 晶片堆疊:邏輯晶片 + HBM 記憶體先置於矽中介板
- 訊號互連:中介板內微金屬線 + TSV 貫穿矽穿孔
- 外部連接:BGA 焊球將封裝接上系統電路
- 封裝形式:2.5D (水平並排晶片,常見邏輯 + HBM)、3D (垂直層層堆疊,偏向 SoC 與高效能邏輯)
為何重要
- 延續摩爾定律:製程微縮遇瓶頸時,以堆疊封裝提升電晶體數
- 性能/功耗:縮短訊號路徑,提高頻寬,降低功耗
- 應用範圍:HPC、AI 伺服器、資料中心、5G、車用電子
產能現況與展望
- 2025 年底 TSMC 目標月產能:70,000 → 80,000 片 CoWoS 晶圓,較 2023 年約倍增
- NVIDIA Blackwell GPU 已預訂超過 70% 的 2025 年 CoWoS-L 產能,推動擴產
- 2026–2028 計畫:產能提升至 90,000 → 150,000 片/月,封裝營收占比 > 10%
競品技術對比
- Intel:Foveros 3D + EMIB 橋接,可承接缺乏 CoWoS 產能的設計轉單
- Samsung:I-CubeS/I-CubeE,2025 年量產可納 12 片 HBM,鎖定 AI 晶片市場
- 傳統 OSAT:Amkor、ASE 仍主攻 < 2.5D,良率與節點能力落後
投資與產業思考
- 供給瓶頸:2024–2025 AI 伺服器需求爆發,封裝成為新產能缺口
- 客戶集中:NVIDIA、AMD、AWS ASIC 需求占比 > 60%,議價力高
- 供應鏈機會:矽中介板、HBM、OSP 化學品、測試探針卡受惠
- 競爭動態:Intel、Samsung 擴產與技術差異將重塑高階封裝代工格局
- 關鍵風險:TSV 良率與熱管理、供應鏈地緣政治、HBM4/光電 I/O 升級需求