無塵室
Clean Room
台積電供應鏈概念股
- 漢唐 (2404):無塵室整合與廠務工程主力。
- 帆宣 (6196):機電與廠務系統整合。
- 洋基工程 (6691):無塵室與 Turnkey 工程。
- 亞翔 (6139):無塵室與廠務系統整合。
- 聖暉 (5536):機電、化學與氣體系統工程。
- 銳澤 (6797):高純度氣體與供氣系統整合。
- 漢科 (3402):製程管路與設備 二次配 工程。
定義
- 無塵室是可控微粒、溫濕度、壓差的高規格生產空間。
- 對半導體來說,無塵室不是加分項,是量產門檻。
- 先進製程看似在比機台,實際上也在比廠務與潔淨控制能力。
- 一旦潔淨控制失穩,良率與交期會一起受壓。
- 擴產不只買機台,還要同步完成廠務、氣體、管路、空調與驗收。
投資觀察重點
- 看三件事:擴產節奏、廠務在手訂單、工程驗收、Hookup 進度。
- 當無塵室卡住,設備交機與營收認列通常會延後。
- 海外新廠週期中,具 Turnkey 與跨國交付能力的廠商勝率更高。
結構重點
- 常見佈局是三明治結構:上層送風過濾、中層製程、下層廠務回風。
- 高架地板搭配下層廠務區,可把維護干擾降到最低。
- 設計型態常見:大廳式、Bay and Chase、微環境
- 節點愈先進,愈依賴局部超潔淨控制。