翹曲
Warpage
定義
- 材料或封裝結構在製程加熱、冷卻或受力後產生彎曲變形,導致平整度下降的現象。
- 常見場景:大型載板、面板級封裝、晶圓減薄與多層堆疊都容易遇到翹曲問題。
形成原因
- 熱膨脹差異:不同材料的熱膨脹係數不一致,升溫與降溫後就容易拉扯變形。
- 結構放大:面積越大、層數越多、厚薄差越大,warpage 通常越難控制。
為何麻煩
- 製程影響:翹曲會影響貼合、曝光、對位、蝕刻與後段組裝良率。
- 尺寸放大:封裝越大、熱膨脹差異越大,翹曲風險通常越高。
股癌脈絡
- 玻璃優勢:節目把降低翹曲視為玻璃基板與玻璃載板的重要賣點。
- 過渡解法:在玻璃全面導入前,市場也會用膠帶、載板固定與解黏製程去壓制翹曲。